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產品特點

• • 化學穩定性極強：耐強酸，包括極強的路易氏酸，耐強堿，與氟氣、SiH4 等特種氣體，強腐蝕性物質、強氧化劑、還原劑等均不發生反應。
  • 不燃燒：不含氫元素，耐氧化，無閃點，無自燃點，可避免火災隱患，滿足半導體行業等對安全性的嚴格要求。
  • 熱穩定性優異：蒸發率和降解率極低，能避免殘留物質形成，從而維持半導體工業中反應室的純淨度及高真空度。
  • 潤滑性能卓越：在較寬的操作溫度範圍、高負載、高壓強情況下，均具有良好的潤滑性能，能有效減少磨耗，對真空泵及壓縮機等設備維持良好運行性能至關重要。
  • 粘度和蒸汽指標穩定可靠：能保持極低的回流率，持續保證係統的高真空度。
• 應用領域
  • 真空泵和真空係統：適用於各種真空泵和真空係統，是半導體工業真空泵油的理想選擇，得到萊寶（Leybold）、愛德華（Edwards）、荏原（Ebara）等世界真空泵製造商的認可。
  • 半導體芯片加工：尤其適用於半導體芯片加工過程中的蝕刻和沉澱過程特種氣體處理。
  • 特種氣體行業：可用於其他特種氣體行業真空係統泵浦中。
• 其他特性：Krytox™1525XP 含有可溶性添加劑，以防止生鏽，這些添加劑可驅除濕氣，為金屬部件和軸承表麵提供額外的防腐蝕保護。但需注意，該潤滑油中的水溶性添加劑未經過所有材料測試，初步測試表明與特氟隆 Kalrex®、氟橡膠、腈和矽橡膠沒有問題，不過這些添加劑在溫度長時間超過 175℃（347°F）時，性能可能會下降。